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國立臺南大學 材料科學系碩士班 鄭建星所指導 陳炳元的 溶液法製備PVDF-HfO2有機無機混合閘極介電層於高載子遷移率薄膜電晶體的應用 （2021），提出suzuki carry規格關鍵因素是什麼，來自於溶液法、表面改質、有機無機混合薄膜、場效電晶體、鐵電效應。

而第二篇論文國立臺灣大學 化學工程學研究所 吳紀聖所指導 黃子恆的 雙胞反應器進行光催化固定氮並同步處理有機廢水 （2020），提出因為有 光催化固定氮、異丙醇降解、氧空缺、摻雜、溴氧化鉍、氧化鎢、雙胞光反應器的重點而找出了 suzuki carry規格的解答。

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溶液法製備PVDF-HfO2有機無機混合閘極介電層於高載子遷移率薄膜電晶體的應用

為了解決suzuki carry規格的問題，作者陳炳元 這樣論述：

本實驗使用溶液法製備聚偏二氟乙烯-二氧化鉿 (PVDF-HfO2) 有機無機混合薄膜作為閘極介電層之研究，用於ZTO TFT探討其作為閘極介電層之可行性，本研究分成四大部分，第一步為PVDF-HfO2¬有機無機混合薄膜材料特性；第二部分為混合薄膜的鐵電效應分析；第三部分為混合薄膜電晶體元件特性分析；第四部份為對混合薄膜元件進一步改良其電特性。 第一部份實驗，以旋轉塗佈的方式將已調配好的PVDF-HfO2有機無機混合前驅液旋塗於重摻雜矽基板上，轉速為4000 rpm，時間為60 s，並於大氣中退火450℃，時間為1 hr，混合薄膜的PVDF/HfO2添加比為0/1、0.0002/

1、0.0006/1、0.0010/1、0.0014/1。第一部分實驗結果顯示PVDF-HfO2有機無機混合薄膜的接觸角度(Contact Angle)會隨著聚偏二氟乙烯(PVDF)添加量增加而有所增加，接觸角角度由60° 提高至86° ，說明PVDF添加量增加，PVDF-HfO2有機無機混合薄膜呈現越疏水的特性；由掃描式電子顯微鏡(SEM)和X繞射儀(XRD)分析結果可發現混合薄膜表面並無明顯缺陷產生且呈現非晶型態；以穿透式電子顯微鏡(TEM)分析試片橫截面可得知其混合薄膜厚度隨著PVDF添加量的增加其厚度範圍約為20~25 nm；從X射線光電子能譜 (XPS) 和傅里葉轉換紅外光譜 (FT

IR) 的分析結果得知內部的元素分析與鍵結狀態，顯示出PVDF於450℃ 下仍存在於薄膜中，也能夠得知偶合劑是否有將有機與無機結合。 第二部份實驗，將設定好的輸出脈衝電壓量測混合薄膜電流變化進行鐵電效應的量測(P-V)，經計算可得知最佳參數PVDF/HfO2 添加比為0.0006/1混合薄膜的剩餘極化量達4.8μC/cm2、矯頑電場為0.84×106(V/cm)，由於二氧化鉿須達高溫600℃ 以上處於結晶型態才具有鐵電特性，因此可以確定PVDF-HfO2有機無機混合薄膜的鐵電特性來源於聚偏二氟乙烯(PVDF)，並以半導體元元件參數分析儀器量測混合薄膜的電特性 (如:電容-電壓、電流-電壓

)，經過計算過後本實驗所製備的PVDF-HfO2有機無機混合薄膜介電常數為8.3 ~ 8.9。 第三部份實驗，研究PVDF-HfO2有機無機混合薄膜作為薄膜電晶體中閘極介電層之可行性，通道層以旋轉塗佈的方式製作鋅錫氧化物(ZTO)，以鋁作為汲極與源極，重摻雜矽基板作為底部電極，使用半導體元件參數分析儀器量測出該元件具有n通道場效電晶體特性，最佳參數PVDF/HfO2添加比為0.0006/1時元件具有高載子遷移率高達109.27(cm2V-1s-1)、臨界電壓為0.16 (V)、次臨界擺幅為0.246(V/dec)以及開關電流比為104。 第四部份實驗，利用氧電漿可以改變薄膜表面親疏

水性特性的優勢，配合塗料在基板畫上圖案，使基板表面出現疏水區域和親水區域，藉由圖案化的方式，讓我們可以控制前驅液旋塗的範圍，降低元件之間的干擾，進而提升電特性，最佳參數PVDF/HfO2添加比為0.0006/1時元件其載子遷移率由109.27 (cm2V-1s-1)上升至114.95(cm2V-1s-1)；另外也利用通道層厚度增加的方式，讓更多的載子可以流動於通道層中，雖然臨界電壓從-0.58(V)些微增加至-0.81 (V)，但是載子遷移率由原本的109.27(cm2V-1s-1) 提高至163.66(cm2V-1s-1)、次臨界擺幅從0.246(V/dec.)至0.22(V/dec.)以及

開關電流比從104提高至105，這些都顯示出雙層通道層(ZTO)的元件特性都會進行電特性的改良。

雙胞反應器進行光催化固定氮並同步處理有機廢水

為了解決suzuki carry規格的問題，作者黃子恆 這樣論述：

本研究採用雙胞反應器系統，進行光催化反應固定氮氣生成氨並同步降解異丙醇。有別於目前工業上使用的哈伯法合成氨，須在高溫、高壓條件下進行，不只耗能且會產生大量溫室氣體，光催化反應是透過大自然無限的太陽光作為能量來源，並且可在常溫、常壓的溫和條件下進行。實驗選用溴氧化鉍(BiOBr)以及非化學劑量比之氧化鎢(W18O49)系列觸媒作為固氮觸媒，並分別摻雜金屬鐵和鉬進行改質，異丙醇降解觸媒則選擇商用氧化鎢(WO3)。兩種固氮觸媒本身具有特殊的氧空缺結構，除了能減少電子電洞對再結合發生，還能作為反應活性點位，增加氮氣吸附量；過渡金屬的摻雜有助於弱化氮氣參鍵，活化氮氣，以上兩種改質手段皆有助於提升光催化

的效率。根據實驗結果找出最佳摻雜量，20 mol% Fe-BiOBr和1 mol% Mo-W18O49分別在兩系列觸媒中展現最佳活性，其中又以1 mol% Mo-W18O49固氮效果最佳，在雙胞反應器系統進行雙功全反應四小時，溶液中銨根離子最大平均產氨速率達28.0 μmol/gcat‧h，較單反應器系統提升66%。同時，初始濃度25 ppm的異丙醇也在氧化反應的第一個小時內被全數降解完畢。在評判反應系統中可能出現之氮化合物的種類，並參考相關研究並對照實驗數據，推測除了銨根離子，應有其他氮化合物存在，如：NO3-、NO2-、NH2OH等，但主要的固氮產物確認為銨根離子。

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