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逢甲大學 化學工程學系 林永森所指導 陳品丞的 以低溫大氣電漿聚合可撓式氧化鎢鈦電致色變薄膜性質之研究 (2017),提出cl35隔熱紙關鍵因素是什麼,來自於常壓電漿、氧化鎢鈦、薄膜、可撓式基板、電致色變。

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以低溫大氣電漿聚合可撓式氧化鎢鈦電致色變薄膜性質之研究

為了解決cl35隔熱紙的問題,作者陳品丞 這樣論述:

目錄誌  謝 I摘  要 IIIABSTRACT IV目  錄 VI圖目錄 VIII表目錄 X符號說明 XII第一章 前言 11-1 緒論 11-2 研究目的 2第二章 文獻回顧 42-1 電漿鍍膜技術 42-2 色變技術(CHROMISM) 52-2-1 電致色變(ELECTROCHROMICS) 52-2-2 光致色變(PHOTOCHROMICS) 52-2-3 氣致色變(GASOCHROMICS) 62-2-4 熱致色變(THERMOCHROMICS) 62-3 氧化鎢電致色變薄膜 72-4 摻雜鈦對氧化鎢電致色變薄膜的影響 92-

5 氧化鎢鈦電致色變薄膜製備方法 10第三章 實驗步驟與方法 123-1 實驗流程 123-1-1 常壓電漿薄膜製備系統 123-1-2 材料與基板前處理 133-1-3 實驗材料 133-1-4 實驗與分析設備 133-1-5 實驗變因 143-2 鎢鈦氧化物薄膜基本性質探討 153-2-1 X-RAY 低掠角繞射分析(XRD) 153-2-2 拉曼光譜分析(RAMAN) 163-2-3 薄膜表面形貌分析(FE-SEM) 163-2-4 薄膜厚度與沉積速率分析 173-2-5 電子能譜儀-化學分析(ESCA) 173-3 鎢鈦氧化物薄膜之電化學性質探討

183-3-1 循環伏安法(CYCLIC VOLTAMMETRY) 183-3-2 離子擴散速率計算 193-4 鎢鈦氧化物薄膜之電致色變性質探討 193-4-1 穿透度變化量測 193-4-2 光學密度(ΔOD)計算 203-4-3 著色效益計算 20第四章 結果與討論 214-1 鎢鈦氧化物薄膜之基本性質探討 214-1-1 X-RAY 低掠角分析 214-1-2 RAMAN光譜分析 224-1-3 薄膜表面形貌分析 254-1-4 薄膜厚度與沉積速率分析與計算 304-1-5電子化學能譜儀分析 324-2 鎢鈦氧化物薄膜之電化學性質探討 494-2-

1 循環伏安法分析 494-2-2 離子擴散速率分析 554-3 鎢鈦氧化物薄膜之電致色變性質探討 564-3-1穿透度變化分析 564-3-2 光學密度分析 614-3-3 著色效益 64第五章 結論 67參考文獻 69圖目錄圖2-2- 1 電致色變應用[ 28] 5圖2-2- 2 光致色變應用[ 27][ 28] 6圖2-2- 3 氣致色變應用[ 35] 6圖2-2- 4 熱致色變應用[ 36] 7圖2-5- 1 氧化鎢鈦薄膜製備方法分類 11圖3-1- 1 常壓電漿薄膜製備系統示意圖 12圖4-1- 1 不同混合比例之XRD 21圖4-1- 2 原始基板

與不同氧氣流量之XRD 22圖4-1- 3 不同混合比例與原始基板之Raman光譜比較圖 23圖4-1- 4 不同氧氣流量與原始基板之Raman光譜比較圖 24圖4-1- 5 (a-1)原始基板與(a-2)孔隙率分析之FESEM 25圖4-1- 6 不同混合比例與孔隙率分析之FESEM 27圖4-1- 7 不同混合比例與原始基板之孔隙率比較 27圖4-1- 8 不同氧氣流量與孔隙率分析之FESEM 29圖4-1- 9 不同氧氣流量與原始基板之孔隙率比較 29圖4-1- 10 原始基板剖面之FESEM 30圖4-1- 11 不同混合比例剖面之FESEM 31圖4-1- 12

不同氧氣流量剖面之FESEM 32圖4-1- 13 不同混合比例W4f微區之ESCA 34圖4-1- 14 不同混合比例Ti2p微區之ESCA 34圖4-1- 15 不同混合比例O1s微區之ESCA 35圖4-1- 16 不同混合比例C1s微區之ESCA 35圖4-1- 17 不同混合比例N1s微區之ESCA 36圖4-1- 18 不同氧氣流量W4f微區之ESCA 41圖4-1- 19 不同氧氣流量Ti2p微區之ESCA 41圖4-1- 20 不同氧氣流量O1s微區之ESCA 42圖4-1- 21 不同氧氣流量C1s微區之ESCA 42圖4-1- 22 不同氧氣流量N1s微

區之ESCA 43圖4-2- 1 不同混合比例之CV圖(1~200 cycles) 50圖4-2- 2 不同混合比例之CV比較圖(200 cycle) 50圖4-2- 3 不同混合比例之QT比較圖(200cycle) 51圖4-2- 4 Ti混合比例19%之CV圖(1~2000cycles) 51圖4-2- 5 不同氧氣比例之CV圖(1~200 cycles) 52圖4-2- 6 不同氧氣比例之CV比較圖(200 cycle) 53圖4-2- 7 不同氧氣流量之QT比較圖(200cycle) 53圖4-2- 8 氧氣流量0.5 sccm之CV圖(1~2000cycles) 5

4圖4-2- 9 不同混合比例之離子擴散係數 55圖4-2- 10 不同氧氣流量之離子擴散係數 55圖4-3- 1 不同混合比例之穿透率全譜圖(200cycle) 57圖4-3- 2 不同混合比例之穿透率全譜比較圖 (200cycle) 58圖4-3- 3 不同混合比例之ΔT全譜比較圖 (200cycle) 58圖4-3- 4 不同氧氣比例之穿透率全譜圖(200 cycle) 59圖4-3- 5 不同氧氣比例之穿透率全譜比較圖 (200 cycle) 60圖4-3- 6 不同氧氣比例之ΔT全譜比較圖 (200 cycle) 60圖4-3- 7 Ti摻雜比例13 % 的氧化鎢鈦薄

膜之去色態實際圖 61圖4-3- 8 Ti摻雜比例13 % 的氧化鎢鈦薄膜之著色態實際圖 61圖4-3- 9 不同混合比例之光學密度比較圖 63圖4-3- 10 不同氧氣流量之光學密度比較圖 63圖4-3- 11 不同混合比例之著色效益比較圖 65圖4-3- 12 不同氧氣流量之著色效益比較圖 65表目錄表3-1- 1 實驗材料 13表3-1- 2 實驗與分析設備 13表3-1- 3 實驗固定變因 14表3-1- 4 實驗操縱變因(1)不同混合比例 14表3-1- 5 實驗操縱變因(2)氧氣不同流量 15表4-1- 1 XRD所分析之繞射峰 22表4-1- 2 Rama

n分析之鍵結 24表4-1- 3不同混合比例之薄膜孔隙率 29表4-1- 4 不同氧氣流量之薄膜孔隙率 30表4-1- 5 不同混合比例之薄膜厚度 32表4-1- 6 不同氧氣流量之薄膜厚度 32表4-1- 7不同混合比例之W4f微區鍵結面積 36表4-1- 8不同混合比例之W4f微區鍵結比例 36表4-1- 9不同混合比例之Ti2p微區鍵結面積 37表4-1- 10不同混合比例之Ti2p微區鍵結比例 37表4-1- 11不同混合比例之O1s微區鍵結面積 37表4-1- 12不同混合比例之O1s微區鍵結比例 38表4-1- 13不同混合比例之C1s微區鍵結面積 38表4

-1- 14不同混合比例之C1s微區鍵結比例 39表4-1- 15不同混合比例之N1s微區鍵結面積 39表4-1- 16不同混合比例之N1s微區鍵結比例 39表4-1- 17 不同混合比例之元素百分比 40表4-1- 18 不同混合比例之原子百分比 40表4-1- 19不同氧氣流量之W4f微區鍵結面積 43表4-1- 20不同氧氣流量之W4f微區鍵結比例 43表4-1- 21不同氧氣流量之Ti2p微區鍵結面積 44表4-1- 22不同氧氣流量之Ti2p微區鍵結比例 44表4-1- 23不同氧氣流量之O1s微區鍵結面積 44表4-1- 24不同氧氣流量之O1s微區鍵結比例

45表4-1- 25不同氧氣流量之C1s微區鍵結面積 45表4-1- 26不同氧氣流量之C1s微區鍵結比例 46表4-1- 27不同氧氣流量之N1s微區鍵結面積 46表4-1- 28不同氧氣流量之N1s微區鍵結比例 46表4-1- 29 不同氧氣流量之元素百分比 47表4-1- 30 不同氧氣流量之原子百分比 47表4-1- 31 ESCA各分析微區所分析之鍵結與對應鍵能 47表4-2- 1不同混合比例之電量(Q) 54表4-2- 2不同氧氣流量之電量(Q) 54表4-2- 3 不同混合比例之離子擴散係數 56表4-2- 4 不同氧氣流量之離子擴散係數 56表4-3- 1

不同混合比例之穿透率與ΔT全譜圖(550 nm與800 nm) 60表4-3- 2不同氧氣流量之穿透率與ΔT全譜圖(550 nm與800 nm) 61表4-3- 3不同混合比例之光學密度(550 nm與800 nm) 63表4-3- 4不同氧氣流量之光學密度(550 nm與800 nm) 64表4-3- 5不同混合比例之著色效益(550 nm與800 nm) 65表4-3- 6不同氧氣流量之著色效益(550 nm與800 nm) 66