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以超音波搭配臭氧及過氧化氫程序降解水中異丙醇

為了解決IPA cracked的問題，作者顏上茹 這樣論述：

台灣的半導體產業發達，半導體製造過程中產生的廢水可能含有酸、鹼、鹽和其他有機化合物，而異丙醇 (Isopropanol Alcohol, IPA) 是一種無色、易揮發的有機溶劑，具有強烈的酒精氣味，廣泛應用於半導體產業的晶圓表面清洗和其它清洗過程，當排放大量含有異丙醇的廢水，可能透過生物的接觸、吸入或吸收而產生危害，還會對人體健康造成威脅。超音波對污染物的降解有兩種反應機制，一種是污染物在空蝕氣泡內被熱裂解，另一種是在空蝕氣泡中產生氫氧自由基氧化極性的污染物。超音波和臭氧結合的系統具有許多優勢，超音波的空蝕作用增加了臭氧的傳質和分解，加上局部高溫和高壓，產生更多的氫氧自由基，可進一步氧化有機

污染物。本研究探討在異丙醇濃度固定的條件下，調整超音波強度及頻率、初始pH值、臭氧曝氣流量、超音波探頭浸入水深及過氧化氫添加濃度，觀察不同操作條件下異丙醇去除率的變化。以超音波頻率40 kHz、功率500 W、超音波探頭浸入水深5 cm、臭氧曝氣流量300 mg/hr、初始pH 10、過氧化氫添加濃度為1 mM之系統中，初始濃度250 ppm之異丙醇經120分鐘反應後可達到81.4 %的去除率。利用高效液相層析儀 (HPLC, High Performance Liquid Chromatography) 觀察到超音波搭配臭氧系統中異丙醇降解後產生副產物丙酮、甲酸及乙酸。透過本研究所使用之降解

異丙醇方法可提供未來實廠應用之參考，並期望能降低異丙醇對環境的危害。