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聚焦式指叉電極角度對彎曲平板波元件特性之影響

為了解決tucson缺點的問題，作者洪學程 這樣論述：

彎曲平板波元件因具有高質量感測靈敏度、低傳播速度與低操作頻率等優點，因此非常適合應用於液態環境中進行生物或化學感測，然而傳統彎曲平板波元件高插入損耗以及因矽薄板厚度不易精確控制而導致製程良率低之缺點，限制了其發展性。為了改善上述之缺點，本論文採用聚焦式指叉電極與矽溝槽反射柵極結構之設計，並探討不同角度(30°、60°、90°、120°、150°)之聚焦式指叉電極與不同延遲線長度(250 μm、500 μm)的變化對彎曲平板波元件特性之影響。 本論文運用微機電系統技術來製作彎曲平板波元件，主要製程步驟包含七次薄膜沉積與五次黃光微影製程，另外為了精準控制彎曲平板波元件感測薄板的厚度以改善製

程良率，在進行背部矽腔體之製作上採用兩階段KOH非等向性濕式蝕刻製程。根據量測結果顯示，在延遲線長度為250 μm且聚焦式指叉電極角度為30°之彎曲平板波元件具有最低之插入損耗(-35.63 dB)，最後，本論文以最佳化指叉電極設計之彎曲平板波元件進行微型感測元件之製作，當元件背部矽空腔分別蒸鍍沉積五種不同厚度之鋁金屬，可量得其固態質量感測靈敏度與線性度R2分別為50.94 cm2/g與0.993。