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逢甲大學 材料科學與工程學系 簡儀欣所指導 張維珉的 調控酸化硫磺素T閘極開關之氮化鎵/氮化鋁鎵高電子遷移率場效電晶體作為檢測錯誤折疊乙型類澱粉蛋白生物感測器 （2021），提出t-class 2022關鍵因素是什麼，來自於氮化鎵/氮化鋁鎵高電子遷移率晶體、生物感測器、阿茲海默症早期檢測、酸化硫磺素T、叉指式電極、自組裝單分子層、錯誤折疊乙型類澱粉蛋白。
調控酸化硫磺素T閘極開關之氮化鎵/氮化鋁鎵高電子遷移率場效電晶體作為檢測錯誤折疊乙型類澱粉蛋白生物感測器
為了解決t-class 2022 的問題，作者張維珉 這樣論述：
誌 謝 i摘 要 iiiAbstract v目 錄 vii圖目錄 xiii表目錄 xviiChapter 1. 緒論 11.1. 研究動機與目的 1Chapter 2. 文獻回顧 32.1. 簡介場效電晶體生物感測器 32.1.1. 生物感測器與其產業趨勢 32.1.2. 各類型場效電晶體介紹 42.1.2.1 金屬-半導體場效應電晶體 (Metal-semiconductor Field Effect Transistor, MESFET) 52.1.2.2 金屬氧化物-半導體場效電晶體 (Metal-Oxide-Semiconductor
Field Effect Transistor, MOSFET) 62.1.2.3 高電子遷移率場效電晶體 (High-Electron Mobility Transistor, HEMT） 82.1.3. 場效電晶體材料特性比較 102.2. 氮化鎵/氮化鋁鎵材料特性介紹 112.2.1. 氮化鎵/氮化鋁鎵高電子遷移率電晶體介紹 112.2.1.1 蕭特基接觸 132.2.1.2 歐姆接觸 152.2.2. 氮化鎵/氮化鋁鎵材料用於生物感測器之相關應用…………………………………………………….172.3. 簡介阿茲海默症議題 182.3.1. 阿茲海默症介紹
與盛行率 182.3.2. 阿茲海默症形成機制 192.3.3. 阿茲海默症檢測方式 22Chapter 3. 研究方法與實驗設備 243.1. 氮化鎵/氮化鋁鎵生物感測器之實驗流程 243.2. 實驗耗材與實驗設備 263.2.1. 實驗耗材 263.2.2. 製程與分析設備 283.3. 氮化鎵/氮化鋁鎵生物感測器之製程設備 303.3.1. 有機金屬化學氣相沉積系統 (Metal-Organic Chemical Vapor Deposition Systems, MOCVD) 303.3.2. 破片光阻旋轉塗佈機 (Spin Coater) 3
03.3.3. 光罩對準曝光系統 (Mask Aligner System) 313.3.4. 多功能後段蝕刻機 (Multi-Function BEOL Etcher) 323.3.5. 電子槍蒸鍍系統 (EB + RH Deposition System) 333.3.6. 快速熱退火系統 (Rapid Thermal Annealing) 343.3.7. 圓腔式濺鍍鍍膜機 (Sputter Coater) 353.4. 氮化鎵/氮化鋁鎵生物感測器之分析設備 363.4.1. 多功能微區X光薄膜繞射儀 (Multipurpose X-Ray Thin-Film Mi
cro Area Diffractometer, D8-XRD) 363.4.2. 冷場發射掃描式電子顯微鏡及能量散佈光譜儀 (Cold Field Emission Scanning Electron Microscope and Energy Dispersive Spectrometer, FE-SEM) 373.4.3. 傅立葉轉換紅外線光譜儀 (Fourier Transform Infrared Spectroscopy, PE-FTIR) 383.4.4. 紫外光-可見光光譜儀 (Ultraviolet/ Visible Spectrophotometer, UV-
vis) 393.4.5. 光學顯微鏡 (Optical microscope, OM) 403.4.6. 穿透式電子顯微鏡 (Transmission Electron Microscope, TEM) 413.4.7. 電化學電性量測系統 (Keithley 236) 423.5. 氮化鎵/氮化鋁鎵生物感測器之製程流程 433.5.1. 氮化鎵/氮化鋁鎵生物感測器磊晶製程 433.5.2. 汲極、源極與閘極膠片設計與製程 443.5.3. 黃光微影製程定義汲極與源極區域 453.5.4. 感應耦合電漿蝕刻法蝕刻汲極與源極區域 473.5.5. 電子槍蒸鍍
法沉積金屬電極 483.5.6. 快速熱退火法進行退火處理以達成歐姆接觸 493.5.7. 黃光微影製程定義閘極區域 493.5.8. 物理氣相沉積法沉積閘極材料 503.5.9. 氮化鎵/氮化鋁鎵生物感測器閘極表面化學修飾 513.5.9.1 酸化硫黃素T-乙二胺-11-巯基十一烷酸於閘極_金薄膜 (ThT acid-EDA-11-MUA@Gate_Au) 之實驗步驟 523.5.9.2 酸化硫磺素T-2-氨基乙硫醇於閘極_金薄膜 (ThT acid-CA@Gate_Au) 之實驗步驟 54Chapter 4. 結果與討論 564.1. 氮化鎵/氮化鋁鎵生物感測器
結構鑑定 564.1.1. 多功能微區X光薄膜繞射儀鑑定表面材料 564.1.2. 光學顯微鏡於元件表面形貌觀測 574.1.3. 冷場發射掃描式電子顯微鏡及能量散佈光譜儀觀察元件正向與剖面圖 584.1.4. 不同電極材料與量測指數之電性訊號穩定測試 604.1.5. 傅立葉轉換紅外線光譜儀鑑定閘極表面分子修飾 624.1.5.1 11-MUA@Gate_Au的FTIR分析 624.1.5.2 EDA-11-MUA@Gate_Au的FTIR分析 634.1.5.3 ThT acid-EDA-11-MUA@Gate_Au的FTIR分析 644.1.6. β-類澱粉
蛋白纖維體鑑定 664.1.7. 紫外光-可見光光譜儀於酸化硫磺素T修飾數量檢測 684.2. 探討氮化鎵/氮化鋁鎵生物感測之電訊號反饋 694.2.1. 閘極區域分子修飾與量測電流之影響 694.2.2. Aβ-ThT-EDA-11-MUA@Gate_Au 704.2.3. Aβ-ThT-CA@Gate_Au 724.2.4. 不同指數及分子鏈長量測Aβ fibrils反饋訊號比較 744.2.5. 以ThT acid 做為閘極開關之GaN/ AlGaN HEMT生物感測器選擇性測試 76Chapter 5. 結論與未來展望 775.1. 結論 775.2.
未來展望 79Chapter 6. 參考文獻 80