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Fe-Co-B-Al非晶薄膜的磁性研究

為了解決a180難養的問題，作者饒國譯 這樣論述：

本研究利用三極直流磁控濺鍍法，共同濺鍍Fe-Co-B及Al靶製作Fe-Co-B-Al非晶薄膜，並探討其結構及磁化、磁阻行為。 經由XRD分析，我們發現無論是初鍍膜或是熱處理後的Fe-Co-B-Al薄膜，其結構均屬非晶結構，並未發現明顯之結晶相存在。Al含量小於8.4％之Fe-Co-B-Al薄膜，表現出明顯異向性磁化行為，易磁化軸平行濺鍍時外加磁場方向。薄膜之抗磁力隨鋁含量增加而下降。200℃/2hr熱處理對薄膜之磁化行為並未有太大影響。當Al含量超過8.4％以後，不論是初鍍膜或是經過熱處理的薄膜，其難磁化軸與易磁化軸方向互易。Al含量改變對薄膜磁化行

為之影響可能與鋁的添加造成薄膜組織改變，且導致組織內的應力狀態改變有關。 薄膜之磁阻效應為正效應，其電阻隨外加磁場施加而上升。隨Al含量增加，磁阻比值上升，於0.6％Al含量時，得到最大磁阻比值0.74％。當Al含量大於8.4％以後，薄膜之磁阻效應就不明顯。熱處理後薄膜之磁阻行為也是相似。