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低溫濕式化學合成法製作CIGS薄膜太陽能電池ZnO視窗層與特性之研究

為了解決電池循環次數查詢的問題，作者吳忠衛 這樣論述：

本研究使用兩種簡易的濕式化學合成法製備II-IV族半導體氧化鋅(ZnO)薄膜沉積於可撓性高分子PET塑膠基材。旨在研究化學浴沉積法(CBD)與連續離子層吸附反應法(SILAR)沉積技術於不同實驗參數製備而得之ZnO薄膜結構特性與光學性質之探討。第一項製程為CBD法，選用適當鋅離子源，並針對反應濃度、反應溫度與反應時間等相關CBD製程參數進行一系列分析探討。並嘗試添加不同緩衝液濃度之硝酸銨與檸檬酸鈉為CBD反應過程之錯合劑，以有效地控制ZnO薄膜成長之機制。第二種製程項SILAR法，針對不同反應循環次數有效地控制沉積薄膜之厚度，並搭配不同膜厚進行撓曲測試。接著，將吾人所探討兩種製程之最佳參數下

沉積於不同基材上，如玻璃、矽晶片或其他材料基板表面等。最後利用熱退火處理，改善ZnO薄膜其薄膜厚度、光學穿透率與晶體結構，有利日後於CIGS太陽能電池視窗層之應用與研究。吾人利用濕式化學合成技術製備而得之奈米級ZnO薄膜經SEM、AFM、UV-Vis光譜、厚度量測等測試結果均顯示ZnO薄膜經過微波快速升溫熱處理後，薄膜結晶性與光學性質已有不錯的成果，吾人以可利用本實驗所涉及兩種沉積薄膜技術獲得膜厚度30~130 nm且光學穿透率90%以上之奈米級ZnO薄膜。