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晶圓製程矽污泥物質流佈分析之研究 -以某太陽能廠為例

為了解決流量換算公斤的問題，作者余俊諺 這樣論述：

物質流分析(Material Flow Analysis, MFA)為一系統性評估，亦可稱為物質流評估，主要 利用工業生態學中工業代謝概念之操作方式，透過質量守恆之觀點，提供一個物質循環方法 之研究架構，計算物質之生產、轉換、廢棄及回收再利用之過程，於特定時間及空間範圍內， 進行物質之追蹤，以提供物質流量與存量之相關資訊，後續可作為資源與環境之政策考量評 估。並且有助於管理決策者了解物質於於系統間之流動情形，並且透過分析結果進行最佳之 管理與決策以及資源調配合理化。本研究以物質流分析方法，系統邊界以某太陽能廠為主體， 時間界定為 105 年，系統組成針對某太陽能廠矽污泥，包含晶圓製造量、原物

料使用量、原 物料回收量、底渣污泥投入量、低階碳化矽產生量以及冷凝油回收量等數據。 經調查分析顯示，105 年某太陽能廠晶圓製造量為 52,587,130 片、原物料使用量為切削 油 3,182,440 公斤以及切削粉 2,893,130 公斤；切削油回收量為 4,137,170 公斤，耗損量為 1,938,400 公斤。經過換算後，將原晶圓製程生產一片矽晶片需要 0.0605 公斤之切削液，經由 切削液回收系統之使用，降低為 0.045 公斤。低階碳化矽之產生量顯示為，投入源為廢棄物 之底渣污泥為 1,998,650 公斤，產出包含低階碳化矽 1,399,055 公斤、回收油 499,663

公斤以 及 5%之損耗量。其中低階碳化矽成分分析顯示，碳化矽含量 63.42%、矽含量 29.78%以及 1.87%之含水率。原為廢棄物之底渣污泥，經由乾燥冷凝純化後，能夠成為鋼鐵業者，製造 過程中所添加之脫氧劑原料，不僅有效降低了該公司廢棄物之處理費用，也將廢棄物資源再 利用化，甚至產品化，減少了對於原物料之需求量，以及大幅減低掩埋場地之消耗外並且降 低了廢棄物遭受任意棄置、任意傾倒之風險，有效減輕地球環境之負擔。

綠建築機電系統節能探討

為了解決流量換算公斤的問題，作者黃國欽 這樣論述：

摘 要 地球暖化是氣候異常其中一現象，造成了環境變遷,人類全力想藉由綠色環保及生態永續發展的想法與態度，提升環境保護與生態保育，減緩人們與環境相互平衡發展的生存危機。台灣地區自產能源相當匱乏，超過98%之能源供給自外國進口，積極努力開發自主性之能源產業，降低對能源進口之依賴，實為首當之急；近年國家能源發展方針，期待能增加再生能源供給量、提升能源使用率、降低對能源之需求，並建立綠能再使用之環境。本研究係以綠建築九大指標中『日常節能指標』，針對公共工程空調通風設備、照明設備與電梯設備於設計規劃階段，傳統機電系統與為配合申請綠建築候選證書，及符合使用者需求與有限預算條件下，提升機電系統節能

效率，並選用綠色環保標章設備，探討比較其成本效益及節能減碳成效。以台北市XX消防局新建工程案例，針對傳統機電系統採用傳統冰水主機空調系統、T8型照明燈具及傳統有機房電梯設備，與配合綠建築申請採用變流量(VWV)空調系統、T5型節能照明燈具及無機房電梯加裝電能回收設備，比較其建置成本、年耗電量及減碳效益，考量相同的維護成本，試算年耗電量價差，換算節能效益；經研究結果傳統機電系統與節能機電建置成本價差：970,750元、年耗電度數差：139,681度、年炭排量差：72,774公斤，節能效益建置成本約2.3年平衡。